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問答題

【簡答題】Defect的種類依掉落位置區(qū)分可分為哪些？

答案： ① Random defect ： defect分布很散亂
②&ens...

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【簡答題】簡述Defect的來源？

答案： ① 素材本身：包括wafer，氣體，純水，化學(xué)藥品。
② 外在環(huán)境：包含潔凈室，傳送系統(tǒng)與...

【簡答題】何謂Defect？

答案： Wafer上存在的有形污染與不完美，包括
① Wafer上的物理性異物（如：微塵，工藝殘留物，不正常...