單項選擇題

目前制備SOI材料的主流技術有幾種？（）

A.注氧隔離法
B.智能剝離法
C.鍵合再減薄技術
D.以上都是

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單項選擇題

硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項？（）

A.制備硅烷
B.硅烷熱分解
C.精餾
D.固體吸附法

多項選擇題

多層陶瓷基板多層化的方法包括（）。

A.印刷多層法
B.生板疊層法
C.磁控濺射法
D.厚膜多層法