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問答題

【簡答題】在VLSI中，為什么要采用Cu互連及多層金屬化技術(shù)？

答案：

因?yàn)镃u的互連線電阻率低，介質(zhì)層介電常數(shù)小。
多層互連對(duì)VLSI的意義：1提高集成度；2降低互連延遲3降低成本

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答案：原理：臨時(shí)性地涂覆在硅片表面，通過曝光轉(zhuǎn)移設(shè)計(jì)圖形到光刻膠上。
負(fù)膠特性：
1曝光后不可溶解

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