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問答題

【簡答題】簡要說明正膠和負(fù)膠的關(guān)光刻原理與特性。

答案：原理：臨時性地涂覆在硅片表面，通過曝光轉(zhuǎn)移設(shè)計圖形到光刻膠上。
負(fù)膠特性：
1曝光后不可溶解

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答案：