問答題

【簡答題】解釋說明自對準(zhǔn)柵工藝流程，為什么當(dāng)圖形化尺寸小到0.18um時，使用鈷硅化物取代鈦硅化物？為什么當(dāng)圖形化尺寸小到65nm時，使用鎳硅化物取代鈷硅化物？

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