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名詞解釋

二步外延法

答案：

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ALE

答案：原子層外延，是向襯底交替單獨供給半導體組成元素的源，使各組成元素以單原子層在襯底上進行一層一層地生長一層分子層。

CBE

答案：化學束外延生長。用氣態(tài)源代替固態(tài)源進行MBE生長，即氣態(tài)源MBE。