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答案：原子層外延，是向襯底交替單獨(dú)供給半導(dǎo)體組成元素的源，使各組成元素以單原子層在襯底上進(jìn)行一層一層地生長(zhǎng)一層分子層。

答案：化學(xué)束外延生長(zhǎng)。用氣態(tài)源代替固態(tài)源進(jìn)行MBE生長(zhǎng)，即氣態(tài)源MBE。