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CBE
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化學(xué)束外延生長。用氣態(tài)源代替固態(tài)源進行MBE生長,即氣態(tài)源MBE。
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MBE
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分子束外延,是在超高真空超高真空的條件下,用分子束或原子束輸運源進行外延生長的方法。在超高真空中,分子束中的分子之間以及...
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MOVPE
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