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問答題

【簡答題】什么是淺槽溝道隔離？其主要作用是什么？說明其主要優(yōu)點及適用工藝范圍？

答案：是刻蝕掉部分襯底形成溝槽（槽刻蝕），再在其中回填上介電質(zhì)（回填）作為相鄰器件之間的絕緣體的一種器件隔離方法。
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【簡答題】工藝最后生長在頂層的介質(zhì)層稱為什么？有什么材料構(gòu)成？其主要作用是什么？

答案：氮化硅，稱為鈍化層，其目的是保護產(chǎn)品免受潮氣，劃傷及淀積的影響。

【簡答題】金屬層間介質(zhì)的作用是什么？通常用什么材料作層間介質(zhì)層？

答案：

作用：支撐材料和金屬間的絕緣層（以及局部互連介質(zhì)層）
通常用氧化硅作為層間介質(zhì)層。