問答題

【簡答題】工藝最后生長在頂層的介質層稱為什么？有什么材料構成？其主要作用是什么？

答案： 氮化硅，稱為鈍化層，其目的是保護產品免受潮氣，劃傷及淀積的影響。
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問答題

【簡答題】金屬層間介質的作用是什么？通常用什么材料作層間介質層？
答案：

作用：支撐材料和金屬間的絕緣層（以及局部互連介質層）
通常用氧化硅作為層間介質層。
問答題

【簡答題】接觸孔和通孔的作用是什么？它們是如何形成的？什么是鎢塞。試說明其主要作用。
答案： 接觸孔的作用：在金屬和非金屬導體間提供電學連接；
形成：
1）鈦的淀積
2）退火
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