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問答題

【簡答題】簡述離子注入機(jī)的各部分工作原理？

答案：離子注入機(jī)主要由離子源、分析磁體、加速聚焦器、掃描偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、靶室及終端臺(tái)和真空系統(tǒng)6大部分組成。
1）離子源的...

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