問答題

【簡答題】簡述離子注入原理

答案： 離子注入是將被摻雜的雜質(zhì)原子或分子進行離子化，經(jīng)磁場選擇和電場加速到一定的能量，形成一定電流密度的離子束流后被直接打進（...
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問答題

【簡答題】簡述熱擴散所需經(jīng)歷的步驟
答案：

•建立濃度差
•雜質(zhì)擴散至合適的結(jié)深
•雜質(zhì)與硅原子成鍵
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【簡答題】簡述擴散原理及滿足條件
答案： 擴散是物質(zhì)的一個基本性質(zhì)，原子、分子和離子都會從高濃度向低濃度處進行擴散運動。
擴散運動需滿足兩個基本條件：<...
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