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          多項選擇題

          干氧氧化法具備以下一系列的優(yōu)點()。

          A.生長的二氧化硅薄膜均勻性好
          B.生長的二氧化硅干燥
          C.生長的二氧化硅結(jié)構(gòu)致密
          D.生長的二氧化硅是很理想的鈍化膜
          E.生長的二氧化硅掩蔽能力強

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          • 單項選擇題

            干氧氧化法有一些優(yōu)點,但同時它的缺點有()。

            A.生長出的二氧化硅中引入很多可動離子
            B.氧化的速度慢
            C.生長的二氧化硅缺陷多
            D.生長的二氧化硅薄膜鈍化效果差

          • 單項選擇題

            干氧氧化中,氧化爐內(nèi)的氣體壓力應(yīng)()一個大氣壓。

            A.稍高于
            B.大大于
            C.等于
            D.沒有要求

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