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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】例舉并描述金屬用于硅片制造的7種要求。
答案:
金屬用于硅片制造的七個(gè)要求:
1.導(dǎo)電率:為維持電性能的完整性,必須具有高電導(dǎo)率,能夠傳導(dǎo)高電流密度。
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填充薄膜
答案:
用金屬薄膜填充通孔以便在兩層金屬間形成電連接。
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通孔
答案:
穿過(guò)各種介質(zhì)從某一金屬層到毗鄰金屬層形成電通路的開(kāi)口。
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