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問答題

【簡答題】給出半導體質量測量的定義。例出在集成電路制造中12種不同的質量測量。

答案：半導體質量測量定義了硅片制造的規(guī)范要求，以確保滿足器件的性能和可靠性。集成電路制造中的12種不同的質量測量：
...

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【簡答題】什么是外延層？為什么硅片上要使用外延層？

答案：外延層是指在硅的外延中以硅基片為籽晶生長一薄膜層，新的外延層會復制硅片的晶體結構，并且結構比原硅片更加規(guī)則。
外...

【簡答題】將圓柱形的單晶硅錠制備成硅片需要哪些工藝流程？

答案：

整形處理，切片，磨片和倒角，刻蝕，拋光，清洗，硅片評估，包裝。