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問答題
【簡答題】什么是外延層?為什么硅片上要使用外延層?
答案:
外延層是指在硅的外延中以硅基片為籽晶生長一薄膜層,新的外延層會(huì)復(fù)制硅片的晶體結(jié)構(gòu),并且結(jié)構(gòu)比原硅片更加規(guī)則。
外...
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問答題
【簡答題】將圓柱形的單晶硅錠制備成硅片需要哪些工藝流程?
答案:
整形處理,切片,磨片和倒角,刻蝕,拋光,清洗,硅片評(píng)估,包裝。
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問答題
【簡答題】例舉得到半導(dǎo)體級(jí)硅的三個(gè)步驟。半導(dǎo)體級(jí)硅的純度能達(dá)到多少?
答案:
第一步:用碳加熱硅石來制備冶金級(jí)硅
第二步:通過化學(xué)反應(yīng)將冶金級(jí)硅提純以生成三氯硅烷
第三步:利用西...
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