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AFM通常用來(lái)觀(guān)測(cè)樣品表面形貌。
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TEM觀(guān)測(cè)與SEM相同,對(duì)樣品厚度沒(méi)有要求。
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通常利用TEM觀(guān)測(cè)的分辨率高于SEM。
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