問答題

【簡答題】敘述MEMS(微型機電系統(tǒng))的基本特征,目前有哪些微型機械加工技術(shù)?

答案:基本特征:體積小、重量輕、能耗低、性能穩(wěn)定;有利于大批量生產(chǎn),降低生產(chǎn)成本;慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時間短;集約高技術(shù)成...
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