問答題

【簡答題】簡述電鍍的優(yōu)缺點。

答案:

優(yōu)點:非常好的間隙填充能力,成本低、溫度低。
缺點:需要導電種子層,控制復雜。

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問答題

【簡答題】簡述濺射的優(yōu)缺點。

答案:

優(yōu)點:①臺階覆蓋能力好;②能沉積金屬合金;③能進行原位濺射刻蝕。
缺點:濺射速率低,金屬膜含氬。

問答題

【簡答題】簡述蒸發(fā)的優(yōu)缺點。

答案:

優(yōu)點:①成膜速率高(能蒸發(fā)5微米厚的鋁膜);②金屬膜純度高。
缺點:①臺階覆蓋能力差;②不能沉積金屬合金。

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