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問答題

【簡答題】簡述電鍍的優(yōu)缺點。

答案：

優(yōu)點：非常好的間隙填充能力，成本低、溫度低。
缺點：需要導電種子層，控制復雜。

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【簡答題】簡述濺射的優(yōu)缺點。

答案：

優(yōu)點：①臺階覆蓋能力好；②能沉積金屬合金；③能進行原位濺射刻蝕。
缺點：濺射速率低，金屬膜含氬。

【簡答題】簡述蒸發(fā)的優(yōu)缺點。

答案：

優(yōu)點：①成膜速率高（能蒸發(fā)5微米厚的鋁膜）；②金屬膜純度高。
缺點：①臺階覆蓋能力差；②不能沉積金屬合金。