問答題

【簡答題】簡述蒸發(fā)的優(yōu)缺點。

答案：

優(yōu)點：①成膜速率高（能蒸發(fā)5微米厚的鋁膜）；②金屬膜純度高。
缺點：①臺階覆蓋能力差；②不能沉積金屬合金。
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問答題

【簡答題】簡述沉積多晶硅采用什么CVD工具？摻雜的Poly－Si的主要用途。寫出摻雜的Poly－Si做柵電極的6個原因。
答案： 沉積多晶硅采用LPCVD。
用途：①摻雜的Poly－Si在MOS器件中用做柵電極；
②摻雜的Poly...
問答題

【簡答題】簡述在APCVD SiO2時摻雜PH3，形成磷硅玻璃（PSG）的優(yōu)缺點。
答案：

優(yōu)點：吸附可動離子電荷改善器件界面，降低玻璃的軟化點溫度易于平坦化。
缺點：易吸潮，一般控制P2O5的含量在4%以下。
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