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問答題
【簡答題】簡述在APCVD SiO2時摻雜PH3，形成磷硅玻璃（PSG）的優(yōu)缺點。
答案：
優(yōu)點：吸附可動離子電荷改善器件界面，降低玻璃的軟化點溫度易于平坦化。
缺點：易吸潮，一般控制P2O5的含量在4%以下。
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問答題
【簡答題】簡述低壓CVD系統(tǒng)（LPCVD）的優(yōu)缺點。
答案：
反應(yīng)速度限制為主、溫度控制要求高。
優(yōu)點：膜致密、顆粒少，硅片可密集擺放，臺階覆蓋較好（主要決定于反應(yīng)氣體）。...
優(yōu)點：膜致密、顆粒少，硅片可密集擺放，臺階覆蓋較好（主要決定于反應(yīng)氣體）。...
問答題
【簡答題】簡述常壓CVD系統(tǒng)（APCVD）的優(yōu)缺點。
答案：
質(zhì)量輸運限制為主、氣流控制要求高。
優(yōu)點：沉積速度高。
缺點：膜致密性差、顆粒多，氣體消耗大、硅片不...
優(yōu)點：沉積速度高。
缺點：膜致密性差、顆粒多，氣體消耗大、硅片不...
