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填空題
離子束撞擊工件將引起變形、分離、嵌入、破壞等()作用,而不像電子束是通過()效應(yīng)進行加工。
答案:
機械;熱
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填空題
在電子工業(yè)中,離子注入成為了微電子工藝中的一種重要的(),也是控制MOSFET閾值電壓的一個重要手段。
答案:
摻雜技術(shù)
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填空題
金屬的離子注入改性目的在于提高金屬的()性能、()強度和()性能。
答案:
硬度、 耐腐蝕;抗疲勞;潤滑
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