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金屬的離子注入改性目的在于提高金屬的()性能、()強度和()性能。
答案:
硬度、 耐腐蝕;抗疲勞;潤滑
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填空題
電子束曝光抗蝕劑對離子的靈敏度要比對電子束(),因而可獲得更加精細的圖樣。
答案:
高100倍以上
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填空題
離子束加工時,由于離子質量大,當速度高、能量大時,垂直撞擊時離子可注入工件材料內部,稱()。當速度低、能量小時,離子可以濺射鍍覆在工件表面,稱()。當能量速度()而傾斜撞擊工件時,可將工件表面的分子,原子撞擊出去,一層一層的剝離下來,稱為()加工或()加工。
答案:
離子注入;離子濺射;足夠大;離子束蝕刻;離子銑削
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