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填空題
離子束加工時，由于離子質(zhì)量大，當(dāng)速度高、能量大時，垂直撞擊時離子可注入工件材料內(nèi)部，稱（）。當(dāng)速度低、能量小時，離子可以濺射鍍覆在工件表面，稱（）。當(dāng)能量速度（）而傾斜撞擊工件時，可將工件表面的分子，原子撞擊出去，一層一層的剝離下來，稱為（）加工或（）加工。
答案：
離子注入；離子濺射；足夠大；離子束蝕刻；離子銑削
