填空題

化學拋光利用（）反應，凸出部分的氧化膜更厚其溶解速度（）凹陷處的溶解速度，從而使得加工表面逐漸均平并光亮化。

答案：氧化；大于

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光化學加工透明膠片的制作可以有兩種方法來完成，即（）和（）。

答案：正轉片；反轉片

化學加工采用（）制備掩膜，不僅將涂覆和刻劃兩道工序合二為一，而且可以做到更加細密。

答案：光化學方式