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填空題

化學(xué)加工采用（）制備掩膜，不僅將涂覆和刻劃兩道工序合二為一，而且可以做到更加細(xì)密。

答案：光化學(xué)方式

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光化學(xué)腐蝕制備掩膜采用（）受到光照射而凝固，不受光的部分仍然為液態(tài)，這實(shí)質(zhì)上是將化學(xué)加工常規(guī)制備掩膜時的（）和（）兩道工序合二為一。

答案：光敏樹脂等感光材料；掩膜涂覆；刻劃

光化學(xué)腐蝕也叫（）。

答案：噴淋腐蝕

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