填空題

常用的濺射鍍膜氣體是（），射頻濺射鍍膜的射頻頻率是（）。

答案： 氬氣（Ar）；13.56MHz
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填空題

濺射鍍膜方法有（）、（）、（）、（）等。
答案： 直流濺射；射頻濺射；偏壓濺射；磁控濺射（反應濺射、離子束濺射）
填空題

離子對物體表面轟擊時可能發(fā)生的物理過程有（）、（）、（）、（）。
答案： 反射；產(chǎn)生二次電子；濺射；注入
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