填空題

離子對物體表面轟擊時可能發(fā)生的物理過程有（）、（）、（）、（）。

答案： 反射；產(chǎn)生二次電子；濺射；注入
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填空題

自持放電的形式有（）、（）、（）、（）。
答案： 輝光放電；弧光放電；電暈放電；火花放電
填空題

真空蒸發(fā)設(shè)備由三大部分組成，分別是（）、（）、（）及（）系統(tǒng)。
答案： 真空系統(tǒng)；蒸發(fā)系統(tǒng)；基板；加熱
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