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填空題

自持放電的形式有（）、（）、（）、（）。

答案：輝光放電；弧光放電；電暈放電；火花放電

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真空蒸發(fā)設備由三大部分組成，分別是（）、（）、（）及（）系統(tǒng)。

答案：真空系統(tǒng)；蒸發(fā)系統(tǒng)；基板；加熱

真空蒸發(fā)的蒸發(fā)源有（）、（）、（）、（）等。

答案：電阻加熱源；電子束加熱源；激光加熱源；高頻感應加熱蒸發(fā)源