微電子學章節(jié)練習(2019.12.11)
來源：考試資料網(wǎng)
參考答案：可以毫不夸張地說，沒有微電子技術的進步，就不可能有今天信息技術的蓬勃發(fā)展，微電子已經(jīng)成為整個信息社會發(fā)展的基石。隨著微電... 參考答案：提高芯片性能：器件做得越小，在芯片上放置得越緊密，芯片的速度就會提高。
提高芯片可靠性：芯片可靠性致力于趨于芯... 參考答案：在升溫環(huán)境里，通過外部供給高純氧氣使之與硅襯底反應，可以在硅片上得到一層熱生長的氧化層；沉積的氧化層可以通過外部供給氧氣... 參考答案：
1.離子源
2.引出電極和離子分析器
3.加速管
4.掃描系統(tǒng)
5.工藝室
參考答案：回流；化學機械拋光；硼硅玻璃（BSG）、磷硅玻璃（PSG）和硼磷硅玻璃（BPSG） 參考答案：載流子漂移（電流）和擴散（電流）過程保持平衡（相等），形成自建場和自建勢在PN結上外加一電壓，如果P型一邊接正極，N型一... 參考答案：
（1）對材料具有高的選擇比
（2）不會對器件帶來等離子體損傷
（3）設備簡單
