1.離子源 2.引出電極和離子分析器 3.加速管 4.掃描系統(tǒng) 5.工藝室
(1)對(duì)材料具有高的選擇比 (2)不會(huì)對(duì)器件帶來(lái)等離子體損傷 (3)設(shè)備簡(jiǎn)單