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填空題
肖特基接觸呈現(xiàn)(),肖特基結(jié)的高低由()差決定;歐姆接觸呈現(xiàn)()特性,接觸電阻可以低到10
-7
歐姆·厘米。IC的互連線金屬要求與半導(dǎo)體襯底實現(xiàn)(),所以,源、漏、多晶硅等的摻雜濃度必須高于()。
答案:
二極管特性;金屬功函數(shù)和半導(dǎo)體表面功函數(shù);線性;歐姆接觸;10
20
/cm
3
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填空題
金屬-半導(dǎo)體接觸分:()三種。當(dāng)半導(dǎo)體襯底濃度 低于()時,只能產(chǎn)生(),當(dāng)半導(dǎo)體襯底濃度 高于()時 可實現(xiàn)()。
答案:
肖特基接觸、歐姆接觸和合金接觸;10
17
/cm
3
;肖特基接觸;10
20
/cm
3
;歐姆接觸
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填空題
半導(dǎo)體器件隔離的種類有:();()和()三種。P-N結(jié)隔離適合()的器件。目前大多數(shù)CMOS器件采用()隔離,絕緣介質(zhì)場區(qū)氧化層采用()工藝生長。
答案:
P-N結(jié)隔離;介質(zhì)隔離;溝槽隔離;低密度、低成本;介質(zhì);局部氧化(LOCOS)
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