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【簡答題】掩模在IC制造過程中有什么作用?
答案:
任何半導(dǎo)體器件及IC都是一系列相聯(lián)系的基本單元的組合,如導(dǎo)體、半導(dǎo)體及在基片不同層上形成的不同尺寸的隔離材料等。要制作出...
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【簡答題】解釋:同質(zhì)外延、異質(zhì)外延。
答案:
外延生長時,當襯底與外延層為同種材料時稱為同質(zhì)外延,同質(zhì)外延的目的是形成具有不同摻雜種類及濃度的晶體層,因而它可以具有不...
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【簡答題】試述晶體外延的意義,列出三種外延方法。
答案:
晶體外延的意義是:用同質(zhì)材料形成具有不同摻雜種類及濃度,因而具有不同性質(zhì)的晶體層。
晶體外延的方法主要有:氣相...
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