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問答題
【簡答題】試說明熱氧化反應(yīng)為什么發(fā)生在Si—SiO2界面上，以及這種反應(yīng)機(jī)制有何好處？
答案：
在無定形SiO2的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)中，每個(gè)Si原子與四個(gè)氧原子形成共價(jià)鍵，而每個(gè)氧原子最多與兩個(gè)Si原子形...
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問答題
【簡答題】氧化工藝產(chǎn)生的SiO2為何種類型？并說明其結(jié)構(gòu)對(duì)其強(qiáng)度和密度的影響。
答案：
半導(dǎo)體工藝中用熱氧化法生長的SiO2是典型的無定形SiO2。無定形SiO
問答題
【簡答題】試說明按結(jié)構(gòu)分類的二氧化硅的基本類型且各舉一例，并說明各種類型的主要結(jié)構(gòu)特點(diǎn)。
答案：
按SiO2的Si-O四面體單元的排列特點(diǎn)將其分為：結(jié)晶形SiO2和無定形Si...
