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問答題
【簡答題】什么叫“結(jié)尖刺效應(yīng)”，集成電路工藝中如何避免鋁的結(jié)尖刺效應(yīng)？
答案：
硅可以溶解在鋁中。在源/漏區(qū)，鋁金屬會與硅直接接觸，硅會溶入鋁中，而鋁會擴(kuò)散進(jìn)入硅內(nèi)形成鋁尖凸物。鋁的尖凸物可以穿透摻雜...
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問答題
【簡答題】90年代以前，哪些因素影響銅用于IC工藝
答案：
器件尺寸；器件密度；化學(xué)機(jī)械研磨工藝；多重金屬連線；
鋁金屬的電導(dǎo)率在金屬中排第四，僅次于銀、銅、金。鋁是這四...
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問答題
【簡答題】半導(dǎo)體工藝中電介質(zhì)薄膜的應(yīng)用
答案：
（1）作為鈍化保護(hù)層
（2）ILD0的摻雜物阻擋層
（3）紫外線可以穿透的保護(hù)層
（4）作為ILD材料
