問答題

【簡答題】簡述電子束曝光的特點

答案： 1）優(yōu)點：分辨率比光學曝光高；無需光刻板；曝光自動化，加工精度高；在真空中進行；可直接觀察曝光的質(zhì)量。
2）缺...
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問答題

【簡答題】微電子器件對接觸和互連有什么要求？獲得良好歐姆接觸的方法有哪幾種？
答案： 對接觸和互連有的基本要求有：
1）能形成良好的歐姆接觸；
2）互連材料具有低的電阻率和良好的穩(wěn)定性；...
名詞解釋

外延
答案： 一種在單晶或多晶襯底上生長一層單晶或多晶薄膜的技術(shù)。
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