問答題

【簡答題】

如圖為鋁金屬化與銅金屬化工藝的比較。識別并描述每個工藝步驟。

答案： （a）鋁金屬化工藝下層鋁導線層間絕緣介質(zhì)沉積/平坦化通孔刻蝕通孔填充，形成鎢插塞上層鋁淀積上層鋁導線刻蝕
（b...
微信掃碼免費搜題