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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述硅柵p阱CMOS的光刻步驟?
答案:
P阱光刻,光刻有源區(qū),光刻多晶硅,P+區(qū)光刻,N+區(qū)光刻,光刻接觸孔,光刻鋁線
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答案:
第一次光刻:N+隱埋層擴(kuò)散孔光刻
第二次光刻:P隔離擴(kuò)散孔光刻
第三次光刻:P型基區(qū)擴(kuò)散孔光刻
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【簡(jiǎn)答題】在制作晶體管的時(shí)候,襯底材料電阻率的選取對(duì)器件有何影響?
答案:
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