名詞解釋

答案：雜質(zhì)從襯底及基座中蒸發(fā)出來(lái)進(jìn)入氣相中繼而再次摻入外延層中，也包括由于襯底基座被腐蝕而進(jìn)入氣相中進(jìn)而摻入外延層中。

你可能感興趣的試題

答案：通過(guò)機(jī)械化學(xué)處理方法，在硅片的非電活性區(qū)引入缺陷，在熱處理時(shí)一些重金屬雜質(zhì)會(huì)擴(kuò)散并淀積在這些缺陷處，從而減少了這些有害雜...

答案：