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名詞解釋
光刻技術
答案：
圖形化工藝中將設計好的圖形從光刻板或背縮光刻板轉印到晶圓表面的的光刻膠上使用的技術。
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問答題
【簡答題】什么是駐波效應？如何減小駐波效應
答案：
駐波效應：當曝光的光纖從光刻膠與襯底的界面反射時，會與入射的曝光光線產(chǎn)生干涉，會使曝光過度和不足的區(qū)域形成條紋狀結構。<...
問答題
【簡答題】解釋硬烘烤的目的。光刻膠硬烘烤過度和不足會產(chǎn)生什么問題？
答案：
目的：除去光刻膠內(nèi)的殘余溶劑、增加光刻膠的強度，并通過進一步的聚合作用改進光刻膠的刻蝕與離子注入的抵抗力。增強了光刻膠的...
