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多項(xiàng)選擇題

以下屬于刻蝕環(huán)節(jié)質(zhì)量要求的是（）

A.均勻性好
B.圖形保真度高
C.選擇比低
D.潔凈度高

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多項(xiàng)選擇題

最常用的砷化鎵的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

A.硫酸
B.氫氟酸
C.雙氧水
D.去離子水

單項(xiàng)選擇題

（）可以通過帶電粒子在盛場作用下做運(yùn)動把粒子進(jìn)行篩選，挑選出唯一需要注入的離子。

A.離子源
B.磁分析器
C.加速管
D.終端系統(tǒng)