一個(gè)以空氣為介質(zhì)的平板電容式傳感 器結(jié)構(gòu)如圖所示,其中a=10mm,b=16mm, 兩極板間距d=1mm。測(cè)量時(shí),若上極板在 原始位置(Δx=0mm)上向左平移了2mm (即Δx=2mm),求該傳感器的電容變化量、 電容相對(duì)變化量和位移相對(duì)靈敏度K0 (已知空氣的相對(duì)介電常數(shù)εr=1F/m,真 空時(shí)的介電常數(shù)ε0=8.854×10-12F/m)
有一個(gè)以空氣為介質(zhì)的變面積型平板電容傳感器(如圖)。其中 a=16mm,b=24mm,兩極板間距為4mm。一塊極板分別沿長(zhǎng)度和寬度方向在原始位置上平移了5mm,求: