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填空題
擴(kuò)散系統(tǒng)主要有以下四部分組成：（）
答案：
爐體與爐管、氣體系統(tǒng)、溫度和氣源控制系統(tǒng)、裝片系統(tǒng)
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填空題
擴(kuò)散分布的主要測(cè)量方法有：（）。
答案：
四探針測(cè)電阻率、擴(kuò)展電阻測(cè)載流子分布、霍爾效應(yīng)測(cè)電阻率、染色法測(cè)結(jié)深、二次離子質(zhì)譜測(cè)雜質(zhì)分布、盧瑟福背散射測(cè)重雜質(zhì)分布
填空題
擴(kuò)散的目的是為了實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體摻雜，雜質(zhì)擴(kuò)散的深度與（）有關(guān)，服從（）。雜質(zhì)擴(kuò)散通常分為等表面濃度擴(kuò)散，也（），和固定雜質(zhì)總量擴(kuò)散，也稱（）。預(yù)淀積的分布是（）函數(shù)，再分布擴(kuò)散的雜質(zhì)呈（）函數(shù)分布。
答案：
雜質(zhì)濃度梯度、擴(kuò)散溫度、擴(kuò)散時(shí)間；費(fèi)克定律；預(yù)淀積；再分布擴(kuò)散；余誤差；高斯
