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填空題
根據(jù)引起氣體放電的機(jī)理不同，可形成不同的濺射鍍膜方法，主要有（）濺射、（）濺射、反應(yīng)濺射、磁控濺射等方法。
答案：
直流；高頻
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問答題
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答案：
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