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【簡答題】為什么氧化層厚度越厚,熱氧化生長的速率越慢?
答案:
根據(jù)熱氧化的生長機理,氧化劑(O
2
或H
2
O)若要與襯底Si反應(yīng)生成SiO
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答案:
Si片定位邊或定位槽有三個主要的作用:
①識別晶向、導(dǎo)電類型及劃片方向;
②硅片(晶錠)機械加工定位...
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