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問答題
【簡答題】試說明在標(biāo)準(zhǔn)埋層雙極晶體管工藝中器件之間是如何隔離的。
答案：
在外延層上進(jìn)行p+擴(kuò)散，形成穿透外延層的P+隔離墻，將外延層分割成若干彼此獨(dú)立的N型隔離“島”。...
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問答題
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答案：
埋層：第一次光刻；
在P型襯底上注入As進(jìn)行N型擴(kuò)散，之后在晶圓表面淀積一層N型外延層，則把N型擴(kuò)散區(qū)域&ld...
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