問答題

【簡答題】使用什么材料制作投影掩膜板，投影掩膜板上形成圖形的不透明材料是什么？

答案： 最主要的是用于亞微米光刻的投影掩膜版襯底材料是熔融石英。不透明材料是一薄層鉻。
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