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【簡(jiǎn)答題】解釋亮場(chǎng)掩膜版和暗場(chǎng)掩膜版。
答案:
如果一個(gè)掩膜版,其石英板上大部分被鉻覆蓋,它就指的是暗場(chǎng)掩膜版。亮場(chǎng)掩膜版有大面積的透明的石英,而只有很細(xì)的鉻圖形。
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【簡(jiǎn)答題】描述投影掩膜版和光掩膜版的區(qū)別?
答案:
投影掩膜版它包括了要在硅片上重復(fù)生成的圖形。這種圖形可能僅包含一個(gè)管芯,也可能是幾個(gè)光掩膜版通常稱為掩膜版,包含了對(duì)于整...
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【簡(jiǎn)答題】什么是LOCOS和STI(寫中英文全稱),為什么在高級(jí)IC中STI取代了LOCOS,列舉STI的工藝步驟。
答案:
LOCOS:硅的局部氧化隔離 local oxidation of ...
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