問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】刻蝕工藝的目的是什么,這個(gè)區(qū)中最常用的設(shè)備是什么?

答案:

目的:硅片上沒(méi)有光刻膠保護(hù)的地方留下永久的圖形。
常用設(shè)備:等離子刻蝕機(jī),等離子體去膠機(jī)和濕法清洗設(shè)備。

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答案:

光刻區(qū),刻蝕區(qū)和離子注入?yún)^(qū)

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答案: 擴(kuò)散:擴(kuò)散區(qū)一般認(rèn)為是進(jìn)行高溫工藝及薄膜沉積的區(qū)域。
刻:使用黃色瑩光管照明使得光刻區(qū)與芯片廠中的其他各個(gè)區(qū)明...
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