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【簡答題】列舉硅片的七種質(zhì)量要求。
答案:
物理尺寸;平整度;微粗糙度;氧含量;晶體缺陷;顆粒;體電阻率
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【簡答題】定義晶體生長,什么是CZ單晶生長法?
答案:
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【簡答題】MOS器件中用的最多的是哪種方向晶向,雙極型用的最多的是哪幾種?
答案:
M.OS :(100)面的硅片
雙極型:(111)面的硅片
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