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利用化學(xué)氣相沉積法和物理氣相沉積法均可以獲得非晶硅膜。
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多晶硅的鑄錠工藝主要有定向凝固法和澆鑄法兩種。
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單晶硅錠的制備方法很多,目前國內(nèi)外在生產(chǎn)中主要采用溶體直拉法和輝光放電法。
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