有一電容測(cè)微儀,其傳感器的圓形板極半徑r=5mm,開始初始間隙δ=0.3mm,問:工作時(shí),如果傳感器與工件的間隙縮小1μm,電容變化量是多少? (極板間介質(zhì)為空氣,εr≈1,真空介電常數(shù)ε0=8.854×10-12F/m)